Resultados superiores de productos sustentables
El grabado es el proceso de eliminar material de la parte superior de una oblea de silicona para crear el patrón transferido a la oblea a través de la fotolitografía.
Los fluidos de especialidad de hidrofluoroolefinas (HFO) Opteon™ son invalorables durante este paso de la fabricación de semiconductores, tanto como surfactantes (mejorando el rendimiento de los líquidos para grabado con ácido) y como agentes para eliminar los residuos fotoresistentes y de polímero de las obleas.
Las características correctas de rendimiento en un fluido con bajo GWP
La baja viscosidad, baja tensión superficial y alta solvencia de los fluidos de especialidad Opteon™ los recomiendan para una variedad de aplicaciones de grabado de precisión. Los productos Opteon™ presentan un bajo potencial de calentamiento global (GWP) y cero potencial de agotamiento de la capa de ozono (Ozone Depletion Potential, ODP), lo que los hace una elección sustentable en relación a los fluidos tradicionales. Además, los fluidos Opteon™ no son inflamables y son más seguros de usar que muchos fluidos con alta capacidad de disolución.
