半導体エッチング向け特殊溶剤

持続可能な製品がもたらす優れた結果

エッチングとは、シリコンウエハーの上部から材料を取り除き、フォトリソグラフィによってシリコンウエハーに転写されたパターンを作成するプロセスです。

Opteon™（オプテオン™）ハイドロフルオロオレフィン（HFO）系特殊溶剤は、半導体製造のこの手順において、（酸性エッチング液の性能を向上させる）界面活性剤としても、ウエハーからフォトレジストやポリマー残留物を除去する薬剤としても非常に有用です。

最適な性能特性を持つ低GWP溶剤

Opteon™（オプテオン™）特殊溶剤は粘度と表面張力が低く、溶解力が高いため、様々な精密エッチング用途に最適です。Opteon™（オプテオン™）製品は、地球温暖化係数（GWP）が低く、ODP（オゾン破壊係数）がゼロであることから、従来の旧溶剤と比較して持続可能な選択肢となっています。さらに、Opteon™（オプテオン™）フルーイド製品は不燃性であるため、多くの強力な溶解液よりも安全に使用できます。