Des résultats supérieurs grâce à des produits durables
La gravure est le processus qui consiste à enlever de la matière de la partie supérieure d’une plaquette de silicium pour créer le motif transféré sur la plaquette par photolithographie.
Les fluides spéciaux Opteon™ à base d’hydrofluoroléfines (HFO) sont d’une valeur inestimable au cours de cette étape de fabrication de semi-conducteurs, à la fois comme surfactants (améliorant les performances des liquides de gravure acide) et comme agents pour éliminer les résidus de résine photosensible et de polymères sur les plaquettes.
Les bonnes caractéristiques de performance d’un fluide à faible PRG
La faible viscosité, la faible tension superficielle et la grande solvabilité des fluides spéciaux Opteon™ les destinent à une grande variété d’applications de gravure de précision. Les produits Opteon™ présentent un faible potentiel de réchauffement global (PRG) et un potentiel d’appauvrissement de la couche d’ozone nul, ce qui en fait un choix durable par rapport aux anciens fluides. De plus, les fluides Opteon™ sont ininflammables et plus sûrs à utiliser que de nombreux fluides à forte solvabilité.
